DECHUAN은 직접 수출용 반도체 연구소용 오일 프리 공기 압축기를 제조합니다. 이 특수 시스템은 인증된 오일 프리 공기를 제공하여 클린룸 웨이퍼 오염과 비용이 많이 드는 마이크로 칩 제조 결함을 방지합니다. 저희에게 연락하세요!
정밀 연구 시설을 위한 신뢰할 수 있는 유틸리티 라인을 구축하려면 중국 반도체 연구소용 오일 프리 공기 압축기 공급업체에서 공급받으세요. DECHUAN의 고순도 공기 솔루션은 다층 탄소 격리 씰을 사용하여 미량 탄화수소를 제거하여 중요한 실리콘 에칭을 위한 깨끗한 가스 품질을 보장합니다.
반도체 제조 및 박막 리소그래피에서는 공기 라인을 통해 전달되는 미세한 유증기 한 방울이라도 전체 생산 배치를 망칠 수 있습니다. 이 특수 제품은 최고 수준의 순도를 충족하도록 설계되었습니다.
• TÜV 인증 클래스 0 항공 배송: 당사 시스템은 다양한 작동 온도에서 엄격한 테스트를 거칩니다. 독립적인 분석을 통해 출력 공기 흐름에 오일 흔적이 전혀 없음을 확인했습니다.
• 부식 없는 내부 공기 경로: 압축실 하류의 모든 배관, 냉각기 번들 및 분리 매트릭스는 녹 조각이 클린룸 공기 라인을 오염시키는 것을 방지하기 위해 고급 스테인레스 스틸로 만들어졌습니다.
• 고급 Elektronikon® 통합: 통합 컨트롤러는 운영 지표를 면밀히 추적하고 사전 안전 차단 기능을 갖추고 있어 불순물이 실험실 그리드에 유입되지 않도록 합니다.
반도체 웨이퍼 제조에서는 오일 에어로졸 한 방울이 전체 클린룸 환경을 오염시켜 수천 개의 실리콘 웨이퍼를 손상시키고 수백만 개의 생산 시간 손실을 초래할 수 있습니다. 기존의 공기 압축기는 이러한 나노미터 규모 공정에 필요한 절대 제로 탄화수소 순도를 보장할 수 없습니다.
반도체 실험실용 특수 오일 프리 공기 압축기는 순수한 공정 보안을 보장합니다.
• 인증된 CLASS 0 공기 흐름: 극한의 열 및 압력 범위에 걸쳐 TÜV의 엄격한 테스트를 거쳐 오일 존재가 전혀 없음을 보장합니다.
• 무미립자 내부: 스테인리스 스틸 프리쿨러와 스타핀 열 교환기는 공기 경로 내에서 산화 플레이크나 화학물질 배출을 제거합니다.
• 전자 모니터링 실드: 사전 유지 관리 경보 및 자동 오류 차단 기능은 시스템 편차가 클린룸 도구에 도달하기 전에 방지합니다.
• 시스템 전력 등급: 55kw - 900kw 고밀도 구성.
• 체적 전달 속도: 4.2 - 148.5m³/min 청정 스트림 출력.
• 오일 함량 분류: ISO 8573-1 클래스 0 완전 오일 프리 검증.
• 냉각 레이아웃: 화학적 가스 방출을 방지하는 스테인리스강 유체 냉각.
ZR/ZT 55-90(FF) 성병| 모델 | 최대배기압력(bar) | 교통 FAD(l/s) | 교통 FAD(m³/min) | 설치전력(kW) | 소음도(dB(A)) | 중량-기준(kg) | 무게-성능(kg) | 사이즈 L(mm) | 사이즈W(mm) | 사이즈 H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 55 -7.5STD | 7.5 | 169.7 | 10.2 | 55 | 72 | 2245 | 2685 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 55 -8.6STD | 8.6 | 156.6 | 9.4 | 55 | 72 | 2245 | 2685 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 55 -10성병 | 10 | 140.9 | 8.5 | 55 | 72 | 2245 | 2685 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 -7.5STD | 7.5 | 224.7 | 13.5 | 75 | 72 | 2385 | 2825 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 -8.6STD | 8.6 | 214.9 | 12.9 | 75 | 72 | 2385 | 2825 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 -10STD | 10 | 205.0 | 12.3 | 75 | 72 | 2385 | 2825 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 -7.5STD | 7.5 | 267.2 | 16.0 | 90 | 72 | 2334 | 2774 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 -8.6STD | 8.6 | 250.9 | 15.1 | 90 | 74 | 2334 | 2774 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 -10STD | 10 | 236.5 | 14.2 | 90 | 74 | 2334 | 2774 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZT 55 -7.5STD | 7.5 | 166.4 | 10.0 | 55 | 78 | 2810 | 3055 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 55 -8.6STD | 8.6 | 153.2 | 9.2 | 55 | 78 | 2810 | 3055 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 55 -10STD | 10 | 137.6 | 8.3 | 55 | 78 | 2810 | 3055 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 -7.5STD | 7.5 | 221.3 | 13.3 | 75 | 78 | 2930 | 3175 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 -8.6STD | 8.6 | 211.6 | 12.7 | 75 | 78 | 2930 | 3175 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 -10STD | 10 | 201.6 | 12.1 | 75 | 78 | 2930 | 3175 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 -7.5STD | 7.5 | 263.9 | 15.8 | 90 | 79 | 2940 | 3185 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 -8.6STD | 8.6 | 247.5 | 14.9 | 90 | 79 | 2940 | 3185 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 -10STD | 10 | 233.1 | 14.0 | 90 | 79 | 2940 | 3185 | 2630 | 1660 | 2150 |
| 모델 | 최대배기압력(bar) | 교통 FAD(l/s) | 교통 FAD(m³/min) | 소음도(dB(A)) | 중량-기준(kg) | 무게-성능(kg) | 사이즈 L(mm) | 사이즈W(mm) | 사이즈 H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 75 VSD -8.6 표준 | 8.6 | 74.7-229.4 | 4.5-13.8 | 73 | 2219 | 2659 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 VSD -10.4 표준 | 10.4 | 81.7-202.9 | 4.9-12.2 | 73 | 2219 | 2659 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD -8.6 표준 | 8.6 | 74.1-282.5 | 4.4-16.9 | 73 | 2270 | 2710 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD -10.4 표준 | 10.4 | 75.5-250.5 | 4.5-15.0 | 73 | 2270 | 2710 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZT 75 VSD -8.6 STD | 8.6 | 71.2-226.0 | 4.3-13.6 | 78 | 2795 | 3040 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 VSD -10.4 STD | 10.4 | 78.2-199.6 | 4.7-12.0 | 78 | 2795 | 3040 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 VSD -8.6 STD | 8.6 | 70.6-279.1 | 4.2-16.7 | 79 | 2855 | 3100 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 VSD -10.4 STD | 10.4 | 72.0-247.1 | 4.3-14.8 | 79 | 2855 | 3100 | 2630 | 1660 | 2150 |
장치의 성능 참조 조건은 ISO 1217의 부록 C, 4판(2009)에 따라 측정되었습니다.
· 상대습도 : 0%
· 절대 입구 압력: 1 bar
· 입구 온도: 20°C 배출율(FAD)은 다음 작동 압력에서 측정되었습니다.
일정한 속도 유형:
· -7.5bar 유형: 7bar
· -8.6bar 유형: 7bar
· -10bar 유형: 9bar
VSD 유형:
· -8.6bar 유형: 7bar
· -10.4bar 유형: 9bar
· (2) 워크스테이션의 클래스 A 가중 방출 음압 레벨(LpWSAd). ISO 2151:2004에 따라 측정되었습니다(150 9614/2 사운드 강도 스캐닝 방법 사용). 새로 추가된 보정계수는 완전 불확실한 값(KpAd)으로 테스트 코드를 따릅니다.
· (3) 무게는 참고용일 뿐입니다. 공급된 실제 중량이 우선합니다.
ZR/ZT 110-160 (FF) 성병
| 모델 | 최대배기압력(bar) | 교통 FAD(l/s) | 교통 FAD(m³/min) | 설치전력(kW) | 소음도(dB(A)) | 중량-기준(kg) | 무게-성능(kg) | 사이즈 L(mm) | 사이즈W(mm) | 사이즈 H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 110 -7.5 성병 | 7.5 | 318.2 | 19.1 | 110 | 74 | 2800 | 3600 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 110 -8.6 성병 | 8.6 | 297.5 | 17.8 | 110 | 74 | 2800 | 3600 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 110 -10 성병 | 10 | 277.6 | 16.7 | 110 | 74 | 2800 | 3600 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 -7.5 성병 | 7.5 | 362.9 | 21.8 | 132 | 74 | 2850 | 3650 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 -8.6 성병 | 8.6 | 338.5 | 20.3 | 132 | 74 | 2850 | 3650 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 -10 성병 | 10 | 314.4 | 18.9 | 132 | 74 | 2850 | 3650 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 145 -7.5 성병 | 7.5 | 392.9 | 23.6 | 145 | 74 | 2878 | 3678 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 145 -8.6 성병 | 8.6 | 364.1 | 21.8 | 145 | 74 | 2878 | 3678 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 145 -10 성병 | 10 | 350.8 | 21.0 | 145 | 74 | 2878 | 3678 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 160 -7.5 성병 | 7.5 | 434.0 | 26.0 | 160 | 74 | 2890 | 3690 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 160 -8.6 성병 | 8.6 | 418.3 | 25.1 | 160 | 74 | 2890 | 3690 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 160 -10 성병 | 10 | 399.0 | 23.9 | 160 | 74 | 2890 | 3690 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZT 110 -7.5 성병 | 7.5 | 315.0 | 18.9 | 110 | 79 | 3048 | 3835 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 110 -8.6 성병 | 8.6 | 294.2 | 17.6 | 110 | 79 | 3048 | 3835 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 110 -10 성병 | 10 | 274.3 | 16.5 | 110 | 79 | 3048 | 3835 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 -7.5 성병 | 7.5 | 359.6 | 21.6 | 132 | 79 | 3098 | 3885 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 -8.6 성병 | 8.6 | 335.3 | 20.1 | 132 | 79 | 3098 | 3885 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 -10 성병 | 10 | 311.1 | 18.7 | 132 | 79 | 3098 | 3885 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 145 -7.5 성병 | 7.5 | 389.6 | 23.4 | 145 | 79 | 3126 | 3913 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 145 -8.6 성병 | 8.6 | 360.8 | 21.6 | 145 | 79 | 3126 | 3913 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 145 -10 성병 | 10 | 347.5 | 20.9 | 145 | 79 | 3126 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 -7.5 성병 | 7.5 | 430.6 | 25.8 | 160 | 79 | 3138 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 -8.6 성병 | 8.6 | 414.9 | 24.9 | 160 | 79 | 3138 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 -10 성병 | 10 | 395.6 | 23.7 | 160 | 79 | 3138 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| 모델 | 최대배기압력(bar) | 교통 FAD(l/s) | 교통 FAD(m³/min) | 소음도(dB(A)) | 중량-기준(kg) | 무게-성능(kg) | 사이즈 L(mm) | 사이즈W(mm) | 사이즈 H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR110VSD-8.6 성병 | 8.6 | 100.5-319.3 | 6.0-19.2 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR110VSD-10.4 성병 | 10.4 | 167.1-292.1 | 10.0-17.5 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR132VSD-8.6 성병 | 8.6 | 107.1-357.1 | 6.5-21.4 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR132VSD-10.4 성병 | 10.4 | 166.6-331.0 | 10.0-19.9 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-8.6 표준(V1) | 8.6 | 123.3-390.0 | 7.4-23.4 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-10.4 표준(V1) | 10.4 | 166.6-357.8 | 10.0-21.5 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-8.6 표준(V2) | 8.6 | 123.3-411.0 | 7.4-24.7 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-10.4 표준(V2) | 10.4 | 166.6-377.6 | 10.0-22.7 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZT 110 VSD-8.6 | 8.6 | 99.9-327.6 | 6.0-19.2 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 110 VSD-10.4 | 10.4 | 165.5-291.9 | 9.9-17.5 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 VSD-8.6 | 8.6 | 124.8-357.5 | 7.5-21.4 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 VSD-10.4 | 10.4 | 164.9-331.2 | 9.9-19.9 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-8.6 표준(V1) | 8.6 | 143.9-388.8 | 8.6-23.3 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-10.4 STD(V1) | 10.4 | 164.9-358.2 | 9.9-21.5 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-8.6 표준(V2) | 8.6 | 146.9-438.2 | 8.8-26.3 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-10.4 STD(V2) | 10.4 | 164.9-378.1 | 9.9-22.7 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
ISO 1217 Annex C, 4th Edition(2009)에 따르면 단위 성능 기준 조건은 다음과 같습니다.
· 상대습도 : 0%
· 절대 입구 압력: 1 bar
· 입구온도 : 20°C
변위 FAD는 다음 작동 압력에서 측정됩니다.
정속 모델:
-7.5bar 모델: 7bar
-8.6bar 모델: 7bar
-10바 모델: 9바
VSD 모델:
-8.6bar 모델: 7bar
-10.4bar 모델: 9bar
(2) 워크스테이션의 클래스 A 가중 방출 음압 레벨(LpWSAd). ISO 2151:2004(ISO 9614/2 사운드 강도 스캐닝 방법)에 따라 측정되었습니다. 새로 추가된 보정 계수 KpAd는 불확실하며 테스트 코드를 준수합니다.
(3) V1=380V, V2=400V.
(4) 무게는 참고용입니다. 실제 무게가 우선합니다.
ZR/ZT 200-275(FF)
| 모델 | 최대배기압력(bar) | 교통 FAD(l/s) | 교통 FAD(m³/min) | 설치전력(kW) | 소음도(dB(A)) | 중량-기준(kg) | 무게-성능(kg) | 사이즈 L(mm) | 사이즈W(mm) | 사이즈 H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 200 -7.5 | 7.5 | 602.3 | 36.1 | 200 | 67 | 3860 | 5230 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 200 -8.6 | 8.6 | 552.1 | 33.1 | 200 | 67 | 3860 | 5230 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 200 -10 | 10 | 506.6 | 30.0 | 200 | 67 | 3860 | 5230 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250 -7.5 | 7.5 | 718.0 | 43.1 | 250 | 67 | 4310 | 5680 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250 -8.6 | 8.6 | 684.3 | 41.0 | 250 | 67 | 4310 | 5680 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250 -10 | 10 | 622.8 | 37.4 | 250 | 67 | 4310 | 5680 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 275 -7.5 | 7.5 | 774.4 | 46.5 | 275 | 67 | 4640 | 6010 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 275 -8.6 | 8.6 | 718.0 | 43.1 | 275 | 67 | 4640 | 6010 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 275 -10 | 10 | 683.9 | 41.0 | 275 | 67 | 4640 | 6010 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 275 -13 | 13 | 561.8 | 33.7 | 275 | 70 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2008 |
| ZT 200 -7.5 | 7.5 | 567.1 | 34.0 | 200 | 77 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 200 -8.6 | 8.6 | 519.5 | 31.2 | 200 | 77 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 200 -10 | 10 | 497.4 | 29.8 | 200 | 78 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 250 -7.5 | 7.5 | 711.5 | 42.7 | 250 | 77 | 5700 | 6600 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 250 -8.6 | 8.6 | 676.8 | 40.6 | 250 | 77 | 5700 | 6600 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 250 -10 | 10 | 614.3 | 36.9 | 250 | 77 | 5700 | 6600 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 275 -7.5 | 7.5 | 745.4 | 44.7 | 275 | 77 | 6030 | 7080 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 275 -8.6 | 8.6 | 711.5 | 42.7 | 275 | 77 | 6030 | 7080 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 275 -10 | 10 | 676.4 | 40.6 | 275 | 78 | 6030 | 7080 | 5040 | 1662 | 2108 |
| 모델 | 최대배기압력(bar) | 교통 FAD(l/s) | 교통 FAD(m³/min) | 설치전력(kW) | 소음도(dB(A)) | 중량-기준(kg) | 무게-성능(kg) | 사이즈 L(mm) | 사이즈W(mm) | 사이즈 H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 250 VSD -8.6 | 8.6 | 242.6-714.4 | 14.6-42.9 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250 VSD -10.4 | 10.4 | 234.2-640.2 | 14.1-38.4 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 315 VSD -8.6 | 8.6 | 242.6-788.1 | 14.6-47.3 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 315 VSD -10.4 | 10.4 | 234.2-700.0 | 14.1-42.0 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZT 250 VSD -8.6 | 8.6 | 238.0-696.9 | 14.3-41.8 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 250 VSD -10.4 | 10.4 | 386.0-633.4 | 23.2-38.0 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 315 VSD -8.6 | 8.6 | 238.0-739.4 | 14.3-44.4 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 315 VSD -10.4 | 10.4 | 386.0-681.0 | 23.2-40.9 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
-상대습도:0%
-절대 입구 압력: 1bar
- 입구 온도 : 20°C
방전율(FAD)은 다음 작동 압력에서 측정되었습니다.
일정한 속도 유형:
-7.5bar 유형: 7bar
-8.6바 타입: 7바
-10바 타입: 9바
VSD 유형:
-8.6바 타입: 7바
-10.4bar 유형: 9bar
(2) 워크스테이션의 클래스 A 가중 방출 음압 레벨(LpWSAd).
ISO 2151:2004(150 9614/2(음강도 스캐닝 방법) 사용)에 따라 측정되었습니다.
새로 추가된 보정계수는 완전 불확실한 값(KpAd)으로 테스트 코드를 따릅니다.
(3) 무게는 참고용입니다. 공급된 실제 중량이 우선합니다.
ZR 300-750
| 모델 | 최대배기압력(bar) | 교통 FAD(l/s) | 교통 FAD(m³/min) | 설치전력(kW) | 소음도(dB(A)) | 중량-기준(kg) | 무게-성능(kg) | 사이즈 L(mm) | 사이즈W(mm) | 사이즈 H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 300 -7.5 | 7.5 | 774.6 | 46.5 | 300 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 300 -8.6 | 8.6 | 725.7 | 43.5 | 300 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 300 -10 | 10 | 695.1 | 41.7 | 300 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 315 -7.5 | 7.5 | 848.0 | 50.9 | 315 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 315 -8.6 | 8.6 | 793.1 | 47.6 | 315 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 315 -10 | 10 | 766.6 | 46.0 | 315 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 355 -7.5 | 7.5 | 939.1 | 56.3 | 355 | 74 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 355 -8.6 | 8.6 | 877.1 | 52.6 | 355 | 74 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 355 -10 | 10 | 839.6 | 50.4 | 355 | 74 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 400 -7.5 | 7.5 | 1034.2 | 62.1 | 400 | 74 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 400 -8.6 | 8.6 | 963.9 | 57.8 | 400 | 74 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 400 -10 | 10 | 930.5 | 55.8 | 400 | 74 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 425 -7.5 | 7.5 | 1143.9 | 68.6 | 450 | 74 | 8250 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 425 -8.6 | 8.6 | 1063.1 | 63.8 | 450 | 74 | 8250 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 450 -7.5 | 7.5 | 1275.7 | 76.5 | 450 | 74 | 8700 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 450 -8.6 | 8.6 | 1191.8 | 71.5 | 450 | 74 | 8700 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 450 -10 | 10 | 1106.3 | 66.3 | 450 | 74 | 8700 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 500 -7.5 | 7.5 | 1399.1 | 78.3 | 500 | 74 | 9200 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 500 -8.6 | 8.6 | 1305.2 | 73.1 | 500 | 74 | 9200 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 500 -10 | 10 | 1217.8 | 73.1 | 500 | 74 | 9200 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 630 -7.5 | 7.5 | 1715.0 | 102.9 | 630 | 76 | 9800 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 630 -8.6 | 8.6 | 1595.0 | 95.7 | 630 | 76 | 9800 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 630 -10 | 10 | 1484.1 | 88.9 | 630 | 76 | 9800 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 750 -7.5 | 7.5 | 2046.2 | 122.8 | 750 | 76 | 10000 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 750 -8.6 | 8.6 | 1827.4 | 109.6 | 750 | 76 | 10000 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 750 -10 | 10 | 1696.7 | 101.8 | 750 | 76 | 10000 | 4320 | 2120 | 2400 |
| 모델 | 최대배기압력(bar) | 교통 FAD(l/s) | 교통 FAD(m³/min) | 설치전력(kW) | 소음도(dB(A)) | 중량-기준(kg) | 무게-성능(kg) | 사이즈 L(mm) | 사이즈W(mm) | 사이즈 H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 355 VSD -8.6 | 8.6 | 371.2-1037.5 | 22.3-62.2 | 81 | 81 | 8805 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 355 VSD -10.4 | 10.4 | 374.4-942.4 | 22.5-56.5 | 81 | 81 | 8805 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 400 VSD -8.6 | 8.6 | 371.2-1120.9 | 22.3-67.3 | 81 | 81 | 9090 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 400 VSD -10.4 | 10.4 | 374.4-998.6 | 22.5-59.9 | 81 | 81 | 9090 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 500 VSD -10.4 | 10.4 | 374.4-1177.9 | 22.5-70.7 | 81 | 81 | 9190 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 700 VSD -8.6 | 8.6 | 374.4-2061.8 | 54.9-123.7 | 83 | 83 | 11402 | 4660 | 2120 | 2470 | |
| ZR 700 VSD -10.4 | 10.4 | 849.7-1840.5 | 51.0-110.4 | 83 | 83 | 11402 | 4660 | 2120 | 2470 | |
| ZR 900 VSD -8.6 | 8.6 | 930.7-2475.4 | 55.8-148.5 | 83 | 83 | 12600 | 4660 | 2120 | 2470 | |
| ZR 900 VSD -10.4 | 10.4 | 864.8-1873.2 | 51.9-112.4 | 83 | 83 | 12600 | 4660 | 2120 | 2470 |
장치의 성능 참조 조건은 ISO 1217의 부록 C, 4판(2009)에 따라 측정되었습니다.
· 상대습도 : 0%
· 절대 입구 압력: 1 bar
· 입구 온도: 20°C 배출율(FAD)은 다음 작동 압력에서 측정되었습니다.
일정한 속도 유형:
· -7.5bar 유형: 7bar
· -8.6bar 유형: 7bar
· -10bar 유형: 9bar
VSD 유형:
· -8.6bar 유형: 7bar
· -10.4bar 유형: 9bar
· (2) 워크스테이션의 클래스 A 가중 방출 음압 레벨(LpWSAd). ISO 2151:2004에 따라 측정되었습니다(150 9614/2 사운드 강도 스캐닝 방법 사용). 새로 추가된 보정계수는 완전 불확실한 값(KpAd)으로 테스트 코드를 따릅니다.
· (3) 무게는 참고용일 뿐입니다. 공급된 실제 중량이 우선합니다.
ZR 200X-400X
| 모델 | 최대배기압력(bar) | 교통 FAD(l/s) | 교통 FAD(m³/min) | 설치전력(kW) | 소음도(dB(A)) | 중량-기준(kg) | 사이즈 L(mm) | 사이즈W(mm) | 사이즈 H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 200X -7.5 | 7.5 | 623.1 | 37.4 | 200 | 67 | 3860 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 200X -8.6 | 8.6 | 601.9 | 36.1 | 200 | 67 | 3860 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 200X -10 | 10 | 551.7 | 33.1 | 200 | 67 | 3860 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250X -7.5 | 7.5 | 717.7 | 43.1 | 250 | 67 | 4310 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250X -8.6 | 8.6 | 683.8 | 41.0 | 250 | 67 | 4310 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 315X -7.5 | 7.5 | 939.0 | 56.3 | 315 | 76 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR 355X -7.5 | 7.5 | 1034.2 | 62.1 | 355 | 76 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR 355X -8.6 | 8.6 | 963.5 | 57.8 | 355 | 76 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR 355X -10 | 10 | 930.2 | 55.8 | 355 | 76 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR 400X -7.5 | 7.5 | 1143.8 | 68.6 | 400 | 76 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR 400X -8.6 | 8.6 | 1062.7 | 63.8 | 400 | 76 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 |
| 모델 | 최대배기압력(bar) | 교통 FAD(l/s) | 교통 FAD(m³/min) | 소음도(dB(A)) | 중량-기준(kg) | 사이즈 L(mm) | 사이즈W(mm) | 사이즈 H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 75 VSD+ | 10.4 | 78.8-229.9 | 4.7-13.8 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD+ | 10.4 | 78.8-283.9 | 4.7-17.0 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZR 110 VSD+ | 10.4 | 78.8-330.3 | 4.7-19.8 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 VSD+ | 10.4 | 78.8-384.0 | 4.7-23.0 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZT 145VSD+ | 10.4 | 78.8-415.2 | 4.7-24.9 | 70 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZT 160 VSD+ | 10.4 | 78.8-468.2 | 4.7-27.1 | 70 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZT 75VSD+ | 10.4 | 78.8-227.4 | 4.7-13.6 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 90 VSD+ | 10.4 | 78.8-276.9 | 4.7-16.6 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 110 VSD+ | 10.4 | 78.8-323.4 | 4.7-19.4 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 132 VSD+ | 10.4 | 78.8-377.5 | 4.7-22.7 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 145VSD+ | 10.4 | 78.8-409.0 | 4.7-24.5 | 74 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 160 VSD+ | 10.4 | 124.7-436.4 | 7.5-26.2 | 74 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| 모델 | 최대배기압력(bar) | 교통 FAD(l/s) | 교통 FAD(m³/min) | 소음도(dB(A)) | 중량-기준(kg) | 사이즈 L(mm) | 사이즈W(mm) | 사이즈 H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 75 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-229.9 | 4.7-13.8 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-283.9 | 4.7-17.0 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 110 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-330.3 | 4.7-19.8 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-384.0 | 4.7-23.0 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 145 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-415.2 | 4.7-24.9 | 70 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 160 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-468.2 | 4.7-27.1 | 70 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZT 75 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-227.4 | 4.7-13.6 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT 90 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-276.9 | 4.7-16.6 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT 110 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-323.4 | 4.7-19.4 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT 132 VSD+ FF | 10.4 | 107.0-377.5 | 6.4-22.7 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT 145 VSD+ FF | 10.4 | 118.0-409.0 | 7.1-24.5 | 74 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT 160 VSD+ FF | 10.4 | 124.7-436.4 | 7.5-26.2 | 74 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
장치의 성능 참조 조건은 ISO 1217의 부록 C, 4판(2009)에 따라 측정되었습니다.
· 상대습도 : 0%
· 절대 입구 압력: 1 bar
· 입구 온도: 20°C 배출율(FAD)은 다음 작동 압력에서 측정되었습니다.
일정한 속도 유형:
· -7.5bar 유형: 7bar
· -8.6bar 유형: 7bar
· -10bar 유형: 9bar
VSD 유형:
· -8.6bar 유형: 7bar
· -10.4bar 유형: 9bar
· (2) 워크스테이션의 클래스 A 가중 방출 음압 레벨(LpWSAd). ISO 2151:2004에 따라 측정되었습니다(150 9614/2 사운드 강도 스캐닝 방법 사용). 새로 추가된 보정계수는 완전 불확실한 값(KpAd)으로 테스트 코드를 따릅니다.
· (3) 무게는 참고용일 뿐입니다. 공급된 실제 중량이 우선합니다.
아시아의 한 전자제품 제조업체는 고순도 질소 생성 루프와 공압 테스트 암을 공급하기 위해 DECHUAN의 특수 공기 시스템을 설치했습니다. 이전에는 표준 압축기를 사용하면 미량 오일 증기가 인라인 필터를 지나 이동하여 리소그래피 렌즈를 코팅하고 웨이퍼 코팅에 미세 균열을 일으킬 수 있었습니다. 반도체 연구실용 오일 프리 공기 압축기를 설치한 후 연구실에서는 오일 관련 라인 오염 사고가 전혀 발생하지 않았으며 2년 동안 연속 작동하면서 클린룸 청소 및 재교정 비용이 크게 절감되었습니다.
• 스테인리스강 재질 업그레이드: 엄격한 미세 오염 지침을 충족하기 위해 모든 표준 내부 주조 부품을 고급 스테인리스강으로 교체합니다.
• 고급 통신 프로토콜: 이 장치에는 특수 통신 프로토콜이 사전 로드되어 청정실 제어 센터에서 공기 측정 항목을 원격으로 모니터링할 수 있습니다.
• 컴팩트한 구조적 설치 공간: 내부 레이아웃은 설치 공간을 최소화하도록 최적화되어 있어 좁은 실험실 지하 유틸리티 공간에 쉽게 설치할 수 있습니다.
A: 예, 당사의 공기 출력은 고급 클린룸 건조제 건조기 및 서브미크론 입자 여과 시스템과 완벽하게 호환됩니다. 원공기에는 유증기가 전혀 포함되어 있지 않기 때문에 사용 현장의 특수 필터가 오일 미스트로 막히는 일이 없어 필터 수명이 연장됩니다.
A: 반도체 연구실용 오일 프리 공기 압축기는 오일 윤활 기어 하우징과 건식 압축 챔버 사이에 물리적 대기 환기 공간이 있는 것이 특징입니다. 특수 비접촉식 카본 링 씰은 음압 채널과 쌍을 이루어 기어 오일 미스트가 깨끗한 공기 흐름으로 유입되는 것을 완전히 차단합니다.
A: Elektronikon® 컨트롤러는 초당 여러 번 중요한 데이터를 샘플링합니다. 어떤 단계에서든 온도 스파이크가 감지되면 시스템은 즉시 자동 종료를 실행하고 격리 밸브를 닫아 냉각되지 않은 공기가 실험실의 민감한 장비로 흘러 들어가지 않도록 합니다.
저작권 © 2025 Dechuan Compressor (Shanghai) Co., Ltd. 판권 소유.
